研究概述
計畫名稱: 分項計畫-可水解基板之平坦化製程之自動化清洗與檢測研究 
委託單位: 國科會產學合作計畫(NSC99-2622-E-011-010-CC2) 
研究期間: 2010.08.012011.07.31
參與人員: 蔡明忠 楊明輔 黃敏霖 關玉蘋